Overview
Proze technologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
- | Author: N. Bündgens
- | Publisher: Springer
- | Publication Date: Mar 08, 1991
- | Number of Pages: 500 pages
- | Binding: Paperback or Softback
- | ISBN-10: 3540176705
- | ISBN-13: 9783540176701
