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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

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Product Details
Author:
Dominik Stöffler
Publisher:
Karlsruher Institut Fur Technologie
Publication Date:
Jul 29, 2014
Number of pages:
114 pages
Binding:
Paperback or Softback
ISBN-10:
3866448430
ISBN-13:
9783866448438

Overview

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.


  • | Author: Dominik Stöffler
  • | Publisher: Karlsruher Institut Fur Technologie
  • | Publication Date: Jul 29, 2014
  • | Number of Pages: 114 pages
  • | Binding: Paperback or Softback
  • | ISBN-10: 3866448430
  • | ISBN-13: 9783866448438

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