Overview

Ce travail de recherche s''inscrit dans l''objectif de mettre à jour des propriétés originales sur le matériau oxynitrure de titane et lanthane LaTiOxNy en couche mince. Dans un esprit de facilité d''intégration et d''économie de quantité matière, nous assistons aujourd''hui au transfert des propriétés remarquables des perovskites oxynitrures depuis des matériaux en poudre vers des couches minces. Le dépôt est effectué par pulvérisation cathodique RF. Selon les conditions de dépôt, les couches minces sont épitaxiées, texturées ou polycristallines et contiennent différentes teneurs en azote. Les mesures diélectriques montrent des valeurs de constantes diélectriques comprise entre 80 et 400, dans la gamme [100 Hz 20 GHz], en relation avec la teneur en azote et la cristallinité des couches. En ce qui concerne le caractère photocatalytique, les mesures Courant-Potentiel en solution aqueuse sous irradiation de lumière visible, montrent que les couches sont bien actives dans le processus de photolyse de l''eau.