Overview

L'idée première de ces travaux était d'évaluer la potentialité des réseaux 2D de nanocristaux (NC) d'argent de 5 nm de diamètre comme masques dans les procédés de gravure. Ces réseaux ont donc été soumis à un plasma d'oxygène généré dans les procédés de Gravure Ionique Réactive. L'analyse des mèmes zones avant et après plasma démontre la coexistence de deux comportements régis par la régularité de l'arrangement 2D des NC. Les assemblées parfaitement arrangées restent quasiment intactes, tandis que celles qui présentent des défauts d'assemblage sont détruites. Les NC coalescent alors pour former de plus grandes particules sphériques qui peuvent ètre monocristallines. Aucune trace d'oxyde d'argent, ni sur les particules coalescées, ni sur les assemblées restées intactes n'est détectée, mème dans des conditions d'exposition très corrosives. L'étude, in fine consacrée à la réactivité des réseaux face au plasma, démontre une nouvelle propriété intrinsèque des NC: l'ordre (la régularité de l'arrangement) détermine la stabilité des NC face au plasma d'oxygène. Un mécanisme de coalescence des NC et un mécanisme de formation des deux types de réseaux coexistant sont proposés.