Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide

Mit Hilfe der Ellipsometrie mi t man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)

• | Author: Harland G. Tompkins
• | Publisher: Wiley-Interscience
• | Publication Date: Mar 18, 1999
• | Number of Pages: 248 pages
• | Binding: Hardback or Cased Book
• | ISBN-10: 0471181722
• | ISBN-13: 9780471181729