Vacuum Microelectronics

Die ständig steigenden Anforderungen an die Mikroelektronik lassen sich zum Teil mit Hilfe von Vakuumtechnologien bewältigen: Im Vakuum kann man Bauelemente schneller, mit grö erer Reinheit und zuverlässiger herstellen und zusammenfügen. Anwendungsgebiete reichen von der Herstellung integrierter Schaltkreise bis zu neuen Anzeigegeräten. Das erste Buch zu einem schnell wachsenden Forschungsgebiet!

• | Author: Wei Zhu
• | Publisher: Wiley-Interscience
• | Publication Date: Oct 03, 2001
• | Number of Pages: 416 pages
• | Binding: Hardback or Cased Book
• | ISBN-10: 047132244X
• | ISBN-13: 9780471322443