Technologien Der Mikrosysteme (German Edition)
Springer Vieweg
ISBN13:
9783658374976
$45.95
Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.
- | Author: Ha Duong Ngo
- | Publisher: Springer Vieweg
- | Publication Date: Jan 02, 2023
- | Number of Pages: 256 pages
- | Language: German
- | Binding: Paperback
- | ISBN-10: 3658374977
- | ISBN-13: 9783658374976
- Author:
- Ha Duong Ngo
- Publisher:
- Springer Vieweg
- Publication Date:
- Jan 02, 2023
- Number of pages:
- 256 pages
- Language:
- German
- Binding:
- Paperback
- ISBN-10:
- 3658374977
- ISBN-13:
- 9783658374976